操作の手順 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

取扱説明書
操作の手順
1
コントローラーのHV極性がポンプに対して正しいことを確認します。Diodeポ
ンプの場合は正極性、StarCellポンプの場合は負極性です。 ポンプを操作する
ときは、関連するポンプコントロールユニットの取扱説明書を参照し、以下の
手順に従ってください：プレ真空ターボ分子ポンプ（主要ポンプによりサポー
ト）を使用して、に従い真空システムの最小始動圧力を確立します。後の段階
で遮断できるように、イオンポンプとターボ分子ポンプの間に全体がメタル製
のバルブを取り付けることが推奨されます。
2
コントロールユニットを適切な電源に接続し、電源をオンにします。 コント
ロールユニットのマニュアルの説明に従い、イオンポンプに供給します。
3
コントロールユニットのディスプレイに表示される電圧、電流、圧力を確認
します。 イオンポンプが高すぎる圧力で始動した場合、通常、電圧は数百ボ
ルトになります。 電圧がこれらの値で一定のままである場合、ポンプの過熱
を避けるために、電源をオフにして、より低い圧力で再開することが推奨さ
れます（「使用」の段落を参照ください）。 コントロールユニットの短絡電
流に近い電流値は、ポンプとシステムに制限のないグロー放電が存在するこ
とを示している可能性があります。 粗引き圧力の一時的な上昇は、通常、始
動過程で気付きますイオンポンプが推奨圧力）まで始動されている場合、電
圧はすぐに事前設定値（3、5、または7 kV）に達します。 動作電圧に達する
と、電流は減少し始めます。 イオンポンプとシステムをターボ分子ポンプか
ら遮断するために、この時点で粗引きバルブを閉じることが推奨されます。
粗引きバルブを閉じた後にイオンポンプ電圧が低下した場合は、粗引きポン
プを追加するためバルブを再度開きます。
圧力が低下すると、電圧が再び上昇し、粗引きバルブが閉じる可能性があり
ます。
4
電圧が事前設定された動作値に達した時に、コントロールユニットがその傾
向がある場合は、コントロールユニットを保護状態に設定します。システム
は、事前に設定された制限を超える圧力上昇から自動的に保護されます。 こ
のような上昇が発生した場合、コントロールユニットは自動的にオフになり
ます。
5
コントロールユニットで使用中のポンプタイプを設定できる場合、コントロ
ーラーのディスプレイには、このマニュアルの「技術情報」の段落に示され
ている圧力対電流のグラフの通り、電流値の変換によって得られた圧力値が
表示されます。 コントローラにこの素因がない場合は、この図を直接参照し
てください。 動作中にイオンポンプが漏洩電流の影響を受け始めた場合、圧
力表示は正しくない可能性があることに注意してください。その場合には、
ディスプレイに表示される電流変換により得られた圧力は、実際の圧力より
も高くなります。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual 175