真空の評価 - Agilent Technologies VacIon Plus 800 Manual Del Usuario

取扱説明書
真空の評価
イオンポンプは排気された状態で出荷されます。 真空システムに取り付けるため
に郵送フランジを取り外す前に、真空の完全性と適切な動作を確認するために、
ポンプを短時間始動することが推奨されます。
通気する前に新しいポンプの真空の完全性を確認するには以下を行います：
1
コントロールユニットの取扱説明書の説明に従い、イオンポンプをコントロ
ールユニットに接続します。
コントロールユニットによってイオンポンプに印加される高電圧は、重大
警告
な損傷または死亡の原因となる可能性があります。 高電圧ケーブルがイオ
ンポンプとそのパワーユニットに正しく接続されていることを確認してく
ださい。 ポンプが十分に接地されていることを確認してください。
2
主電源スイッチをOFFにして、コントロールユニットを適切な電源に接続し
ます。
3 ONにして電源を入れます。
4
コントロールユニットのマニュアルの指示に従い、イオンポンプをオンにし
ます。 以下のいずれかの状態を示すために、ユニットディスプレイの読み取
り値を確認します：
a
b
5
真空の完全性が失われた場合は、システムに取り付ける前に、質量分析計の
漏洩検知器でポンプの漏洩チェックを行う必要があります。
166
ポンプに漏れがなく、低圧の場合、ガスの量がポンプされると、圧力表
示は1E-8mbarの範囲以下に急速に低下します。
ポンプ内の圧力が大気圧またはその近似値にある場合、アークが高電圧
フィードスルー内で衝突し、ポップ音が発生したり、ポンプ電流が変動
したりする可能性があります。 その場合は、すぐに電源を切ってくださ
い。
Agilent VacIon Plus 800 User Manual